描述
全自主支持產權
效率更高、顆粒更細,膜厚更均勻
應用領域:
- EDS樣品制備
- EBSD樣品制備
- MLA系統樣品制備
- 其它需要制備碳膜的領域
技術參數:
人機界面 |
7英寸TFT彩色液晶觸摸屏 |
蒸發源 |
高純碳纖維(選配碳棒) |
蒸發源數量 |
1-4根(更多請咨詢廠家) |
工作模式 |
連續、脈沖 |
操作方式 |
全自動一鍵操作 |
真空系統 |
渦輪分子泵+旋片泵 |
極限真空 |
≤5E-3Pa |
工作真空 |
<0.1Pa
|
抽氣節拍 |
<3分鐘 |
真空室 |
~φ170×130mm |
其它 |
樣品臺旋轉、樣品溫度檢測、蒸發除氣等 |
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